清华大学为实控人 CMP设备企业华海清科拟登科创板滑轮

清华大学为实控人 CMP设备企业华海清科拟登科创板

5月15日，天津证监局披露华海清科股份有限公司（以下简称华海清科）首次公开发行股票（并在科创板上市）接受辅导公告。公告显示，国泰君安证券股份有限公司已于5月12日与华海清科签署首次公开发行股票（并在科创板上市）的辅导协议。

（图片来源：天津证监局）

资料显示，华海清科成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行京津冀一体化国家战略，为推动我国化学机械抛光（CMP）技术和设备产业化成立的高科技企业。该公司主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。

据立式车床了解， 化学机械抛平坦化（CMP）是目前国际公认的唯一能对亚微米经器件提供全局平面化的技术。伴随着全球半导体市场的增长，晶圆制造中制程技术的升级，导线与栅极的尺寸越来越小，光刻技术对晶圆表面的平坦程度的要求越来越高等因素，使得CMP工序显著增加。目前，CMP与光刻、刻蚀、离子注入、PVD/CVD一起被称为IC制造的五大核心技术。

华海清科官网显示，华海清科持续研发出Universal-200Plus、Universal-300Plus等系列产品，实现了8-12英寸晶圆抛光设备规格型号覆盖，截至目前已有多台CMP设备进入国内先进集成电路大生产线，实现了国产抛光装备的规模化制造与产业化应用。

今年3月，华海清科整体变更为水分仪股份有限公司，标志着其股份制改造和上市筹备工作取得重要进展。此外，根据华海清科3月30日发布的消息，其通过北京产权交易所公开挂牌融资有了结果，以国投创业管理的国家科技机床设备重大专项成果转化基金为代表的联合体成功摘牌，其他联合体成员包括金浦投资、国开科创、国开装备基金、浙创投、石溪资本镀金、中芯海河赛达基金、武汉建芯产业基金、水木创投等。

华海清科当时表示， 这次引入市场化投资机构是公司调整产权结构、优化资源布局、推进战略目标实现的重要路径，也是助力华海清科登陆资本市场的重要组成部分。根据辅导公告，目前华海清科的控股股东为清控创业投资有限公司，公司实际控制人为清华大学。

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